Apkures lietojumiem pusvadītāju ražošanas iekārtās, piemēram, vafeļu cepšanā, vakuumkameras degazācijā un CVD reaktoros, bieži ir jādarbojas īpaši -augsta vakuuma (UHV) vidē. Šie ekstremālie apstākļi uzliek sildītājiem stingras prasības attiecībā uz materiāla izplūdes ātrumu, blīvējuma integritāti un konstrukcijas uzticamību. Lai gan plaši tiek izmantoti tradicionālie vienotie kasetņu sildītāji, D-tipa dalītā konstrukcija sāk gūt panākumus šajā augstākās klases-nozarē lietojumprogrammām, kurām nepieciešama apkope uz vietas vai kur vietas ierobežojumi kavē aksiālo piekļuvi.
Galvenais izaicinājums sadalītajam dizainam UHV vidē ir blīvēšana. Jebkura sprauga vai tukšums var darboties kā gāzes izdalīšanās avots, apdraudot vakuumu. Augstas-kvalitātes dalītie sildītāji UHV blīvēšanai izmanto metāla-un-metāla precizitāti, kas dažkārt tiek papildināta ar specializētiem vakuuma{{5}pakāpes blīvējuma materiāliem, nodrošinot vakuuma integritāti, kad sadalītā saskarne ir aizvērta. Eņģu un bloķēšanas mehānismiem arī jābūt konstruētiem tā, lai nodrošinātu zemu izplūdi, izvairoties no porainiem materiāliem vai organiskām smērvielām.
Pusvadītāju lietojumos materiālu izvēle ir stingri ierobežota. Lai gan nerūsējošais tērauds ir izplatīts, dažos procesos var būt nepieciešami eksotiskāki sakausējumi uz niķeļa{1}} vai keramikas. Savienojuma materiāliem dalītajā saskarnē jābūt saskaņotiem termiskās izplešanās raksturlielumiem, lai novērstu noplūdi vakuuma termisko ciklu laikā. Elektroizolācijai, kas parasti ir augstas -tīrības pakāpes magnija oksīds vai alumīnija oksīds, ir jāveic specializēta cepšanas vakuuma apstrāde.
Salīdzinot ar mājsaimniecības telpu sildītājiem vai vispārējām rūpnieciskajām iekārtām, pusvadītāju ierīču apkures vērtības piedāvājums darbojas citā plaknē. Dīkstāves laiks vienai iekārtai var maksāt miljoniem, un sildītāja uzticamība tieši ietekmē ražu un caurlaidspēju. D- tipa dalīto kasetņu sildītāju galvenā vērtība šajā jomā nav izmaksu ietaupījums, bet gan uzlabota apkope un ražošanas nepārtrauktības nodrošināšana.
Praktiskā pieredze liecina, ka dalītas konfigurācijas piedāvā īpašas priekšrocības pusvadītāju scenārijos: pētniecības un izstrādes aprīkojums, kam nepieciešama biežas apkures konfigurācijas maiņa, modulāras kameras ar ierobežotu vietu, kas neļauj aksiāli izjaukt, un ražošanas rīki, kur in{0}}apkope ir ļoti svarīga, lai samazinātu dīkstāves laiku. Vafeļu cepšanas rīka modernizācijā, pārejot uz dalīto kasetņu sildītājiem, apkures moduļa apkopes laiks tika samazināts no četrām stundām līdz trīsdesmit minūtēm.
Galvenās atlases validācijas ietver: hēlija noplūdes testu pārskatu, materiālu izplūdes ātruma datu un augstas{0}}temperatūras vakuuma darbības testa rezultātu nodrošināšanu. Piegādātājam ir jābūt pierādītai pieredzei un kvalitātes izsekojamībai pusvadītāju nozarē.
Dizaina apsvērumi: sadalītajiem sildītājiem parasti ir vairāk elektrisko pieslēguma punktu nekā vienotiem. Katrs savienojums apzīmē potenciālu vakuuma noplūdes ceļu. Vakuuma{2}}padeves, piemēram, no stikla-līdz-metāla blīves vai keramikas caurlaides, ir būtiskas. Ekstrēmiem vakuuma lietojumiem visam sildītājam pirms uzstādīšanas var būt nepieciešama vakuuma apstrāde.
Uzstādīšanai un apkopei jāievēro stingri tīrās telpas protokoli. Lai gan sadalītais dizains vienkāršo nomaiņas procesu, daļiņu kontrole, aizsardzība pret elektrostatiskās izlādes un savstarpējās piesārņojuma risks joprojām ir vissvarīgākais pusvadītāju ražošanas vidē. Instrumentu tīrībai un operatora sertifikācijai jābūt daļai no standarta procedūras.
